1．先把读数显微镜进行调零（注意要轻轻旋转旋钮，因为读数显微镜是高精度仪器且成本高，用力过大会导致精度降低）；

2．然后将打上压痕的元件置于水平工作台面上；

3．把读数显微镜置于元件上（当显微镜与工件置于一起时，手不要抖动，因为显微镜与工件的结合不是很紧固，稍不注意会造成读数误差），把透光孔对向光亮处；

4．通过旋转螺母，使标线沿X轴左右移动；

5．标线与压痕的两侧分别相切，此时标线走过的距离即为压痕直径；

6．把工件旋转90°，再测量一次（但由于压痕通常为不规则形状，故要把工件旋转90°，再测量一次取平均值），取两次结果的平均值，即得到孔的zui终直径。

7．记下读数后，把显微镜归零后收放到位置。